幸运飞艇游戏:光刻技术首次绘出银纳米结构 电子     DATE: 2017-12-31 15:22

  物理学家霍夫利希博士介绍说,他们选用的银二甲化合物很稳定,仅在电子束聚焦处分解。银材料光刻技术的原理与其它材料光刻技术相似,光刻机的针尖将微量先导材料,一般是有机金属化合物靠近试样表面注射。电子束照射在样品表面,将表面的材料分子和非挥发性残留物分解,并固定在样品一定的位置上。电子束就像笔一样在材料底层上游走,将所希望的结构绘制出来。这项技术还适用于在许多底层材料上绘制三维结构图。

  此次,研究小组成功地利用光刻技术在银材料上制作出纳米结构晶体。这项实验最大的难点是寻找合适的银化合物,以及开发用于电子束的注射部件。由于典型银化合物的化学活性非常强,且很难气化,即使在注射部件加热与容器壁反应时也如此,容器到注射部件针尖的通道常会在试验温度降低时堵塞,因此要满足光刻技术要求特别难。

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  要想在材料表面获得精细结构图样,最佳选择是采用电子显微镜扫描技术,利用电子束在其表面进行复杂的光刻。这项技术已应用在铂、金、铜等许多金属材料纳米结构制作上,但还没有成功应用于银材料。银在电子工业领域有着广泛应用前景。

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